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直线电机驱动的二维高精密位移台媲美气浮轴承
直线电机精密二维平台采用内置高性能的U型直线电机进行驱动，配备纳米级别分辨率的光栅反馈系统及运动控制系统，兼顾了性能和可靠性双重设计之间的平衡。采用机械轴承的平台能够媲美采用气浮轴承的平台所能达到的精度水平。
规格参数：
其广泛的产品系列应用于精密光学、超高精度加工制造、半导体制造、高精度自动化设备等领域；
同茂TMCA直线电机具有低负载、高推力、高速、高加速、免维护的特性，标准系列的直线电机峰值推力可以达到2600N，持续推力可以达到750N，其定位精度达到0.5UM以内，能兼容多品牌运动控制器和编码器，同时同茂电机在音圈电机行业有着丰富的结构设计，样品生产以及量产经验，可以完全满足客户定制化的要求。
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