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同茂单轴高精密直线电机平台模组
1,行程（travel)： 100mm,150mm,200mm,300mm,400mm,500mm,600mm
2,定位精度高达（直线误差修正后）：±0.5μm（Travel≤200mm）
3,稳定且优良的轴系提供了高的平滑运动，经算法优化可以获得极小的动态跟随误差
4,线性表现优良的光栅反馈系统，可以获得高的point-to-point位置精度以及亚微米级的重复性
5,标准的模块化设计，灵活的单轴/多轴解决方案
6,整体密封结构，轻量化、高刚性结构设计，低成本，高性能
单轴高精密直线电机平台模组
1,直线电机平台行程：100mm/150mm/200mm/300mm/400mm/500mm/600mm；
2,直线电机平台定位精度：±2.5um，双向重复定位精度：±0.75um；
直线电机平台定位精度：±1.5um，双向重复定位精度：±0.25um；
3,直线电机平台基础材料采用进口铝合金7075，有限元分析，一体化加工成型,减少因导轨和铝主体
不同的热膨胀系数引起的折弯效应；
4,直线电机平台采用采用高性能同茂电机无铁芯U型槽直线电机驱动，持续推力在50N-680N，直线电机
采用欧美工艺及特殊磁路设计，直线电机动力性能强，推力特征稳定，速度波动小；
5,直线电机平台集成具有较好线性表现的开放式增量光栅系统，可以提供亚纳米级的分辨率、重复性和稳定性。
6,直线电机平台稳定的光学零位，保障双向回零的重复性和可靠性。
7,直线电机平台经激光干涉仪标定补偿，可以轻易获得理想的定位精度，轻松实现您对于高精密定位的要求。
8,直线电机平台平台拥有优良的设计，严苛的轴系装配工艺，具有极高性能，高性价比，可以直接替换进口
使得HPL-LM系列直驱平台得以广泛适用于需要成本效益、精密解决方案的工业应用;
9,直线电机平台应用领域：半导体晶圆检测、微电子组件测试、取放、DNA测序、激光加工等领域。
10,控制方案推荐：PMAC Clipper+Parker Aries系列驱动器（高精度，高动态响应）
Parker PAC+Parker Aries系列驱动器（高分布式高速运动总线）
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