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同茂单轴高精密直线电机平台模组
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1,行程(travel): 100mm,150mm,200mm,300mm,400mm,500mm,600mm
2,定位精度高达(直线误差修正后):±0.5μm(Travel≤200mm)
3,稳定且优良的轴系提供了高的平滑运动,经算法优化可以获得极小的动态跟随误差
4,线性表现优良的光栅反馈系统,可以获得高的point-to-point位置精度以及亚微米级的重复性
5,标准的模块化设计,灵活的单轴/多轴解决方案
6,整体密封结构,轻量化、高刚性结构设计,低成本,高性能
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