音圈执行器贴装头精密 高精度对位、贴片以及软着陆功能能够以非常轻的压力触碰MEMS元件，降低损耗，提升产能；根据当前业内标准，汽车的自动驾驶功能可分为 L0 到 L5六个级别。每一个级别的上升都意味着，ADAS（高级驾驶辅助系统）需具备更灵敏的探测性和对更庞杂数据的快速处理能力，以达到更安全稳定的驾驶体验。

          目前大多数汽车厂商在设计 L2 级汽车时，一般采用“多个雷达+摄像头传感器”的组合，但要达到 L3 及更高级别，还需要其他传感器的辅助，其中最受关注的就是LIDAR（激光雷达）。

LIDAR（激光雷达）

         LIDAR能在1秒内发射高达数百万的脉冲光，形成庞大的点云，绘制出物体的精确轮廓，从而构建出周围环境的三维模型。能比摄像头构建更真实的3D环境，比毫米波雷达具有更准确的物体识别能力。当前，LIDAR 已被开发为 ADAS 的重要组成部分

         根据结构，激光雷达可以分为两大类：机械式激光雷达和固态激光雷达。机械式的装配困难、扫描频率低；固态激光雷又可分为MEMS半固态激光雷达、Flash固态激光雷达和OPA固态激光雷达三种。其中，MEMS半固态激光雷达是当前的市场主流，被认为是量产的首选。原因在于，MEMS半固态激光雷达本质是一种硅基半导体元件，采用半导体工艺生产，即把所有的机械部件集成到单个芯片上，工艺制程并不高，技术成熟、成本低，且微镜震幅小、频率高，相对而言量产难度较低。

MEMS制造工艺

          目前比较常用的MEMS制造工艺是表面微加工（Surface Micro Machining），通过三维堆叠技术把器件固定在硅晶圆上，与IC生产工艺兼容，集成度较高。

但是，MEMS制造工艺的量产率较IC制造工艺更低。

         这是由于MEMS是一种三维机械结构，而IC则是平面结构，封装难度更高；而且MEMS器件对于光、磁、热、力等外部因素更加敏感，MEMS激光雷达还需达到车规级标准，因而对生产设备和生产环境的要求更为苛刻。仅从“力”和“位移”这二个变量来看，在MEMS微镜的封装和微镜元件的贴装过程中对MEMS器件进行取放时，真空负压吸嘴的定位精度和重复性，拾取和放置的力度，以及停留的时间等，都是需要重点注意的问题。

         目前，MEMS产品的封装需要定制特殊形状及材料的吸嘴，配合10g~30g的取放力度，来保证封装过程中MEMS芯片无压伤或隐裂等情况的发生。

         音圈执行器贴装头精密 高精度对位、贴片以及软着陆功能能够以非常轻的压力触碰MEMS元件，降低损耗，提升产能；圈执行器利用音圈电机具有高响应、高加速度、高速度、体积小的特点，与导轨和编码器组合，构成闭环系统——音圈电机执行器。音圈执行器高精度对位、贴片，保证良率；集成进口精密级高刚性导轨，微米级位置反馈，结构简单紧凑可靠，稳定好高，直线重复定位精度可高于±5μm，旋转重复定位精度可高于±0.025°，力控精度可高于±5g，径向偏摆小于10μm，编码器分辨率可高于1μm，可在高速运行状态下仍稳定输出，提升良率及可靠性。

           音圈执行器内置弹簧设计，放置意外坠落，提升效率；采 用中空Z轴设计，预留气管接口，真空吸取、即插即用，使用方便快捷，提升效率；采用封闭式外壳，在Z向中空轴内部预留了气路接口，有效避免了灰尘侵入，保证电机在高速工作的同时拥有超高的循环寿命 

          音圈执行器体积小，重量轻；轻巧的机身重量大大减轻了设备高速运动中负载带来的影响。电机厚度薄，在设备有限的内部空间中可以并排安装多组电机，减少芯片贴装往复运动过程，提升设备贴装效率。音圈执行器有“软着陆”功能，降低损耗；音圈电机推力特性稳定，推力曲线圆滑，力线性度较好，跟电流成正比；可实现±5g以内的稳定力度控制，支持速度、加速度及力度控制的程序化设定，使贴装头能够以非常精准的压力触碰芯片表面，降低损耗；