English
音圈电机精密定位平台提升太赫兹时域光谱仪检测能力
太赫兹辐射是0.1～10THz的电磁辐射，从频率上看，在无线电波和光波，毫米波和红外线之间；而从能量上看，在电子和光子之间。随着太赫兹技术的发展，太赫兹光谱及成像在生物学、医学疾病诊断、材料科学、军事以及化学基础研究等许多领域展现出巨大的应用潜力。太赫兹时域光谱技术是国际上近年来发展起来的太赫兹辐射的应用技术之一，是一种新兴的光谱技术。光学延迟线装置是通过光学手段实现相干光脉冲之间精确可控的相对时间延迟的装置，是太赫兹时域光谱仪实现快速测谱和成像的关键部件。目前常用的光学延迟线装置，多数是基于步进电机驱动从而推动固定有反射器的滑动平台沿导轨往返运动实现的。然而，基于步进电机驱动反射器往复运动进行扫描时，反射器的运动路线可能会发生偏移，使得扫描不精准。
音圈电机具有一下优势：
1.结构简单，体积小;
2. 动子质量轻，高速，高加速，高响应 ;
3. 高频率，高频响应性好；
4. 零磁滞，零磁槽效应；
5. 配合合适机构反馈控制定位精度可达纳米；
6. 行程：1mm-50mm;
7. 峰值推力：1N-5000N ;
8. 集成精密导轨，集成精密光栅编码器，可以实现精准定位；
当光栅尺和读数头的精度均设置为20μm时，数据采集时，得到的太赫兹光谱仪频域信号在4.8THZ之前信号平稳，提高装置的整体检测性能。当音圈电机4的行程从8mm更改成16mm，则根据光程＝2*行程/光速，对应的光程从53ps提升到106ps，反射测试所能测量的样品的厚度范围从53*c/n＞d＞0提升到了106*c/n＞d＞0，同样地，透射测试所能测量的样品的厚度范围从53*c/(n-n0)＞d＞0提升到了106*c/(n-n0)＞d＞0，其中，n为样品的折射率、c为光速、n0为空气的折射率，n0取1。提高音圈电机4的行程，能够增加测试样品的厚度范围，提升对样品内部缺陷的检测能力。
