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半导体制程_IC芯片高速高精度贴片

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客户要求:
1,该方案采用高速、高精度、高动态特性的笛卡尔龙门坐标轴设计;
2,分辨率:1Vpp Sin/Cos (典型推荐分辨率5nm);
3,双向重复定位精度:±0.75μm(Base)±0.4μm(Plus);
4,定位精度(线性误差修正):±3μm(Base)±1μm(Plus);
5,正交误差:10arc sec;
6,最大工作速度:2000mm/s;

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激光微加工_高速高精度陶瓷基片微孔加工

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客户要求:
1,双向重复定位精度:±1μm;
2,平台具备快速定位能力,稳态时间<100ms;
3,2mm快速点定位,要求运动时间<70ms;
4,激光打孔工作时间15ms,要求单孔加工<185ms,即5-6孔/min;
5,XY单独运动,没有插补运动;

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同茂音圈电机可在肝检测设备起振动应用

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同茂音圈电机可在肝检测设备起振动应用 1、同茂音圈电机结构简单,体积小,高响应,高速,高加速,定位精度高,高精密音圈电机配合copley电机驱动器和microe位置编码器,重复定位精度可高达0.5um. 2、同茂音圈电机控制方便,力特性好,电机在同一位置上可输出不同的力量,在任何位置上,可输出恒定的力,力的波动可以控制在2克,力重复也可控制在2克。

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