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: 半导体制程_IC芯片高速高精度贴片

客户要求：
1，该方案采用高速、高精度、高动态特性的笛卡尔龙门坐标轴设计；
2，分辨率：1Vpp Sin/Cos （典型推荐分辨率5nm）；
3，双向重复定位精度：±0.75μm（Base）±0.4μm（Plus）；
4，定位精度（线性误差修正）：±3μm（Base）±1μm（Plus）；
5，正交误差：10arc sec；
6，最大工作速度：2000mm/s；
了解详情

: 激光微加工_高速高精度陶瓷基片微孔加工

客户要求：
1，双向重复定位精度：±1μm；
2，平台具备快速定位能力，稳态时间＜100ms；
3，2mm快速点定位，要求运动时间＜70ms；
4，激光打孔工作时间15ms，要求单孔加工＜185ms，即5-6孔/min；
5，XY单独运动，没有插补运动；
了解详情

: 同茂音圈电机可在肝检测设备起振动应用

同茂音圈电机可在肝检测设备起振动应用 1、同茂音圈电机结构简单，体积小，高响应，高速，高加速，定位精度高，高精密音圈电机配合copley电机驱动器和microe位置编码器，重复定位精度可高达0.5um. 2、同茂音圈电机控制方便，力特性好，电机在同一位置上可输出不同的力量，在任何位置上，可输出恒定的力，力的波动可以控制在2克，力重复也可控制在2克。
了解详情

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