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半导体制程_PCB激光直写设备

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客户要求:
1,双向重复定位精度:3μm;
2,直线度:10μm;
3,平面度:15μm;
4,偏航角误差:10arc sec;
5,1.0um位置精度(稳态误差),1mm点定位时<100ms;

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激光扫描-高精密五轴联动

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客户要求:
1,X轴有效匀速扫描距离:360mm,速度100mm/s,可以到速度300mm/s;
2,Y轴有效匀速扫描距离:500mm,速度100mm/s,可以到速度300mm/s;
3,旋转A:110度;旋转B:360度;速度60rad/s;
4,Z轴行程260mm,速度200mm/s;
5,重复定位精度5um以内;

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半导体制程-分选包装

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客户要求:
1,行程10mm;
2,2mm行程10ms;
3,Z轴应用;
4,重复定位精度10um;

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