收藏本页| 在线留言| 网站地图| en English欢迎光临同茂电机官网!
定制热线400-850-9518
邮箱:sales@tmmor.com
微信技术支持

他们都在搜索: 同茂电机音圈电机生产厂家直线电机应用 音圈电机类别 激光切割直线电机 音圈马达厂家

当前位置首页 » 同茂电机新闻中心 » 新闻资讯 » 行业动态 » 上海微电子即将交付第一台28nm工艺的国产沉浸式光刻机

上海微电子即将交付第一台28nm工艺的国产沉浸式光刻机

返回列表 来源:同茂电机官网 浏览:- 发布日期:2020-06-07 15:52:21【

上海微电子即将交付第一台28nm工艺的国产沉浸式光刻机

94cad1c8a786c91779149b223bf0b7c93ac757ee

相信大家都知道,世界上顶尖的芯片制造厂如今的主流技术已经到达了7nm级工艺,正在向着5nm前进。而我国自己的工艺却一直停留在90nm

但就在最近,上海微电子装备(集团)股份有限公司披露,将在2021-2022年交付第一台28nm工艺的国产沉浸式光刻机。

虽然28nm比起国际顶尖工艺还有几代的差距,但作为纯国产的光刻机,从90nm28nm这个进步已经不是飞跃能形容的了。

b2de9c82d158ccbf5f8640d9f6157b38b035416b

上海微电子是国内技术最领先的光刻设备厂商,从低端切入各个细分市场,现已成为封测龙头企业的重要供应商,国内市场占有率高达80%,全球市场占有率也有40%,同时旗下LED/MEMS/功率器件光刻机性能指标领先,LED光刻机市占率第一。

上海微电子这家公司如今有4大系列的光刻机产品,其中600系列步进扫描投影光刻机面向IC前道制造,采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术,以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术,可用于90nm110nm280nm工艺和200mm300mm晶圆生产。

同茂电机的圆柱音圈电机马达在自减振六自由度也有非常广泛的应用,因为音圈电机结构简单,动子质量小,相应快,噪音低,寿命长及配合合适的结构及位置反馈能达到很高的定位精度;清华大学与上海微电子合作开发精密工作台该工作台的定位精度目标为10nm。该工作台采用粗精两级驱动形式,粗驱动采用直线电机驱动,并采用双频激光干涉仪作为反馈元件,检测精度为 2,其行程范围为 300mm。微动台采用音圈电机驱动,以电容传感器作为微动检测元件。通过粗精两级相互结合,二维工作台定位精度为12nm

同茂电机与上海微电子合作多年,协助他们定制生产了数款精密音圈电机,音圈电机性能及整装精度达到国外同类产品水平,同时具备完全自主知识产权;

随做客户对音圈电机要求的提高以及同茂电机的发展,我们研发定制生产的具有较高推力线性比的音圈电机马达,广泛应用在有创/无创呼吸机上,我们愿把更多的好的产品推向市场,为更多像上海微电子类的企业创造价值;